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>線性馬達機械手
軌道內嵌有鐵芯線性馬達機械手(標準環境)LGF15
位置重複精度：±0.002(mm)； 最大推力：180(N)；
有鐵芯線性馬達機械手LTF15
位置重複精度：±0.002(mm)； 最大推力：266(N)； 連續推力：59(N)
有鐵芯線性馬達機械手LTF20
位置重複精度：±0.002(mm)； 最大推力：510(N)； 連續推力：113(N)
有鐵芯線性馬達機械手LTF30
位置重複精度：±0.002(mm)； 最大推力：713(N)；
有鐵芯線性馬達機械手(無塵環境)LCF15
位置重複精度：±0.002(mm)； 最大推力：266(N)； 連續推力：59(N)
有鐵芯線性馬達機械手(無塵環境)LCF20
位置重複精度：±0.002(mm)； 最大推力：510(N)； 連續推力：113(N)
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